Jonu staru kodināšanas mašīna

Jonu staru kodināšanas mašīna

Jonu staru kodināšana (IBE) ir plānslāņa metode, kurā tiek izmantots jonu avots, lai veiktu materiāla noņemšanas procesus uz substrāta. IBE ir jonu staru izsmidzināšanas veids, un neatkarīgi no tā, vai to izmanto iepriekšējai tīrīšanai vai rakstainai kodināšanai, tas palīdz nodrošināt izcilu adhēziju un precīzu 3D struktūru veidošanos.

Šī iekārta ir ļoti kolimēts, augstas precizitātes un ļoti uzticams nanomēroga fiziskās kodināšanas iekārtu risinājums.

Atbalsta nanovadu platuma precizitāti un vairāku veidu augstas malu attiecības raksta kodināšanu, ko neierobežo materiāla tips, augsta kolimācijas kodināšana, augsts kodināšanas ātrums un laba atkārtojamība.

Plaknes režģi, liela laukuma speciālie režģi, DOE difrakcijas komponenti, MEMS ierīces, plānslāņa shēmas, fotoniskās integrētās ierīces

• Galvenās sastāvdaļas jonu avots ir neatkarīgi vadāms.
• Savietojams ar IBE un RIBE, ar izvēles darba režīmiem.
• Piemērots dažādu materiālu augstas precizitātes kodināšanai ar līnijas platumu līdz 20nm.
• Laba procesa spēja un ražošanas uzticamība.
• SiO/Si režģa apakšējās un sānu sienas ir taisnas.
• Ļauj neatkarīgi kontrolēt stara enerģiju un jonu plūsmu.
• Process notiek zema spiediena darba vidē.
• Ražo kontrolētu anizotropu kodināšanu.
• Nodrošina līdzekļus visu zināmo materiālu iegravēšanai.
• Ļauj kontrolēt leņķa profilu, pateicoties mainīgam kodināšanas stara leņķim attiecībā pret parauga/maskas virsmu.
• Ļauj kontrolēt profilu/sānu sienu un veidot funkcijas.
• Reaktīvās gāzes iespējas nodrošina lielāku kodināšanas ātrumu un lielāku selektivitāti dažādu materiālu kodināšanai, izmantojot reaktīvās vielas.

Populāri tagi: jonu staru kodināšanas mašīna, Ķīnas jonu staru kodināšanas mašīnu ražotāji, rūpnīca